产品特点
l 紧凑的紫外(UV)光源
l 高功率准分子激光器
l 光束传输
准分子激光应用包括
l 激光视力校正
l 脉冲激光沉积
l 微加工
l 卷轴式直接刻图
l 激光退火
l 布拉格光
准分子激光产品具有如下紫外激光波长：
l 157 nm, 193 nm, 248 nm, 308 nm 及 351 nm。
激光应用领域
l 3D微结构加工
l 皮肤病治疗
l 深紫外(DUV)微刻蚀
l 青光眼手术
l 医学应用
l 采用工业激光器的微加工
l 光谱学
