DVID系列隔振平台-C型
·全方向隔振功能(Pneumatic Isolator)
隔振空气弹簧以外又安装了水平隔振器具，提高了水平、垂直全方位的隔振性能。
·卓越的衰减效果 (Damping)
以DAEIL公司多年积累的减震控制技术，开发了又固有频率低，又衰减效果显著的系统，可以迅速衰减仪器操作时或搭载仪器，负荷变动时的上板(Optical Top)振动，使它瞬间静止，提高了仪器的操作性。
·新上板 (New Top Plate)
提高了原有上板的刚性，提升了上板的一次共振频率，内部附上特殊吸振材料与钢板提高了衰减特性。有两种即：粘贴吸振材料与钢板合成物(Composite)的不锈钢上板(Stainless Steel Laminate)和中间为蜂窝芯两边粘贴钢板的蜂窝芯上板。
·上板隔离的作用空间 (Top Cover and Work Space)
放置精密仪器的隔振上板与作业桌面分离，上板上留有可以放置作业物或检查物等对振动不太敏感的仪器（电脑、显示器等）的作业空间，提高了使用功能及作业效率。
·自动保持水平 (Auto Levelling System)
放置的仪器负荷或位置产生变化时，可通过三个水平调整阀，自动调整各空气弹簧内部的气压，能够自动保持水平。
DVID系列-C型
作为半导体FAB用，可在Class 1洁净的室内环境中使用
所有材料均用不锈钢制作，可防腐蚀或退色问题。
安装有防静电装置与能够保持洁净室内空气洁净度的集中排气回收器具。
为减少洁净室内空气阻力使用打孔结构的上板。
打磨焊接珠等粗糙物，便于使用擦拭器，不存在能够积尘的缝隙或弯曲部位。
用途
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探针台
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显微镜
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Mask aligner
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A.F.M
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S.T.M
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薄膜厚度形状测定仪
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其它半导体相关检验装备
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固有频率: 1.2Hz ~ 2.0Hz
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隔振效率:
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at 10Hz : 75% ~ 95%
at 20Hz : 85% ~ 98%
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水平复位精度 : Repeatability : ±1.2㎜ / ±0.05㎜
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静负载 : 500kg
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自重 : 150 ~ 250kg
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材料 :
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支架及顶部：不锈钢
顶盖：不锈钢
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工作气源 : 3~5kg/cm2 压缩空气或瓶装液氮)
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Model No.
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Size(W×D)
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DVID- C-45
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400 × 500
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DVID- C-56
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500 × 600
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DVID- C-57
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500 × 700
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DVID- C-66
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600 × 600
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DVID- C-67
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600 × 700
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DVID- C-68
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600 × 800
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DVID- C-69
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600 × 900
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DVID- C-77
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700 × 700
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Model No.
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Size(W×D)
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DVID- C-86
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800 × 600
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DVID- C-88
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800 × 800
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DVID- C-97
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900 × 700
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DVID- C-99
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900 × 900
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DVID- C-106
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1000 × 600
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DVID- C-1075
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1000 × 750
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DVID- C-129
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1200 × 900
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DVID- C-158
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1500 × 800
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