半导体准分子激光系统(SE Version)
半导体准分子激光系统(SE Version
157nm F2激光器
本公司提供EX10F, EX50F和EX100F 157nm F2准分子激光器,该系列激光器具有15天的气体保存期,107个脉冲,10mJ脉冲能量,8W平均功率,350-1000Hz重复频率,1pm的窄线宽。
另外,可以提供VUV波段的高质量镀膜的CaF2光学镜片。
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![](/edit_file/Image/2012-5-16/2012051613474543.jpg)
特点
l 1010个脉冲寿命
l 高稳定性
l 对于193nm激光器的单次充气,可保证2X108个脉冲
l 硬阳极氧化的超净间封装
l 满足SEMI S2标准
产品描述
该系列激光器能够满足半导体加工、掩膜监测、显微光刻和度量学等领域的应用,并且符合CE和SEMI S2标准。所有半导体准分子激光器都使用了最新的全金属和陶瓷技术,保证了最大激光寿命和最小程度的维护。SE版准分子激光器相比标准准分子激光器具有超净间封装、更长腔体寿命、及更长气体寿命。目前,SE版提供EX10, EX50, EX100和EX100H产品。用户若有需求,可以联系我们。
EX10SE specifications
PARAMETER
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F2
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ArF
|
KrF
|
XeCl
|
XeF
|
Wavelength nm
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157
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193
|
248
|
308
|
351
|
Energy Max. mJ
|
3
|
20
|
35
|
15
|
15
|
Energy ControlRange mJ
|
1-3
|
5-20
|
10-35
|
7-15
|
7-15
|
Max. Stabilized Energy 200Hz
|
2.5
|
15
|
30
|
15
|
12
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Average power Max. W 300/600
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0.6/1.2
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4/7
|
6/12
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3/6
|
3/6
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Stability standard deviation
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< 1% at max. repetition rate
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Repetition Rate, Hz
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300/600/1000
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Dynamic gas lifetime
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200E6
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200E6
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500E6
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100E6
|
300E6
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Static Gas Life to 50% energy
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15 days
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60 days
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90 days
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>1 Year
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90 days
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Pulse Length, ns
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12-15
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Beam Size, mm
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5X 3
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8 X 3
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Divergence, mRad full angle
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1 X 2
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Cooling
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Air
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