半导体准分子激光系统（SE Version）
半导体准分子激光系统（SE Version
157nm F2激光器
本公司提供EX10F, EX50F和EX100F 157nm F2准分子激光器，该系列激光器具有15天的气体保存期，107个脉冲，10mJ脉冲能量，8W平均功率，350-1000Hz重复频率，1pm的窄线宽。
另外，可以提供VUV波段的高质量镀膜的CaF2光学镜片。
）
特点
l 1010个脉冲寿命
l 高稳定性
l 对于193nm激光器的单次充气，可保证2X108个脉冲
l 硬阳极氧化的超净间封装
l 满足SEMI S2标准
产品描述
该系列激光器能够满足半导体加工、掩膜监测、显微光刻和度量学等领域的应用，并且符合CE和SEMI S2标准。所有半导体准分子激光器都使用了最新的全金属和陶瓷技术，保证了最大激光寿命和最小程度的维护。SE版准分子激光器相比标准准分子激光器具有超净间封装、更长腔体寿命、及更长气体寿命。目前，SE版提供EX10, EX50, EX100和EX100H产品。用户若有需求，可以联系我们。
EX10SE specifications
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PARAMETER
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F2
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ArF
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KrF
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XeCl
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XeF
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Wavelength nm
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157
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193
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248
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308
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351
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Energy Max. mJ
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3
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20
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35
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15
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15
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Energy ControlRange mJ
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1-3
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5-20
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10-35
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7-15
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7-15
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Max. Stabilized Energy 200Hz
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2.5
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15
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30
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15
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12
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Average power Max. W 300/600
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0.6/1.2
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4/7
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6/12
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3/6
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3/6
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Stability standard deviation
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< 1% at max. repetition rate
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Repetition Rate, Hz
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300/600/1000
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Dynamic gas lifetime
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200E6
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200E6
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500E6
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100E6
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300E6
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Static Gas Life to 50% energy
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15 days
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60 days
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90 days
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>1 Year
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90 days
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Pulse Length, ns
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12-15
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Beam Size, mm
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5X 3
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8 X 3
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Divergence, mRad full angle
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1 X 2
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Cooling
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Air
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