高斯－顶帽光束转换器（g2T)

 

 

 

Wavelength [nm]	Field size [mm]	Data sheet
193	0.03 x 0.03 until 10 x 10	g2T_193
355	0.03 x 0.03 until 10 x 10	g2T_355
532	0.03 x 0.03 until 10 x 10	g2T_532
532	0.5 x 0.5 (with improved depth of field)	g2T_532
1064	0.5 x 0.5 until 10 x 10	g2T_1064

光束扫描系统

LIMO公司除了提供光束整形器、扩束器等零部件外，还提供整套光刻用的光束扫描系统，用户可以根据实际需求定制，定制过程中用户必须事先确定好最终参数，最终参数一旦确定，需提交给深圳华光衍射科技有限公司再次确定后，方可由LIMO公司工程师审核其合理性，只有得到LIMO公司的认可的情况下才能进行加工。因为该系统的定制非同一般设计，价格高昂，为了避免风险，必须经过三方至少5个回合的反复论证后方可最终定稿加工。所以，请用户务必毫无保留的给出你们的实际需求目的及技术参数容差范围，便于德方保质保时施工。