压痕仪技术参数：
l 最大加载载荷：40N
l 载荷分辨率：0.75mN
l 可实现的最小载荷：500mN
l 位移分辨率：0.2nm
l 可实现的自小位移：3nm
l 可实现的最大位移：300µm
l 样品最大尺寸：300mm
划痕仪技术参数：
l 划痕正向力最小载荷：500mN
l 划痕正向力最大载荷：40N
l 最大摩擦力：40N
l 最大划痕深度：300µm
l 最大划痕长度：150mm
l 划痕速度：0-240mm/min
