三维表面形貌测量系统
产地:美国
产品特性
l 采用白光轴向色像差技术,可获得纳米级的分辨率
l 测量具有非破坏性,测量速度快,精确度高
l 测量范围广,可测透明、金属材料,半透明、高漫反射,低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…);
l 尤其适合测量高坡度高曲折度的材料表面
l 不受样品反射率的影响
l 不受环境光的影响
l 测量简单,样品无需特殊处理
l Z方向最大测量范围为27mm
技术参数
l 垂直测量范围:27mm
l 垂直分辨率:<2nm
l 扫描速度:1m/s
l 横向分辨率:5nm
l 可视区域:400*600mm