线性超声压电驱动器

产地：法国

特点

l   标准位移：3um

l   工作频率：22.5KHz

l   输入功率：12W

超声波压电驱动器

产地：法国

特点

l   标准位移：3um, 1.5um

l   工作频率：22KHz, 57KHz

l   输入功率：12W, 1.5W

平行预应力型压电致动器

产地：法国

性能: 行程(μm):90; 阻断力(N):7000; 响应频率(Hz):8500; 尺寸(mm): 100*30*30

可选特性: 应变力仪; 真空; 专用接口

放大压电致动器

产地：法国

特点

l   偏心遮罩有增大位移量和硬度的作用

l   机械阻抗匹配和机电耦合性能良好

l   能在很广的频率范围内操作（包括谐振频率）

l   压电致动器下的遮罩的弯曲程度考虑了放大器中合理的应力分布

参数

l   位移范围：27.8um-1000um

l   闭环分辨率：0.28nm-10nm

l   响应时间：0.02ms-0.14ms

l   驱动电压低：150V

应用

视光学: 光学透镜的定位，微扫描，天文学，聚焦定位，激光腔调谐，光纤的耦合和形变，FBG（光纤布拉格光栅）的形变，斩波器，干涉仪，PDP晶体切割，调制器等。

机械学: 工具定位，取放工具，金刚石车削，椭圆活塞加工，阻尼，动态控制，新一代超声波或声波振动，NDT，器件疲劳度监测等。

流体学: 比例阀，泵，测流技术，喷墨技术，注射器，液滴发生器，颗粒

DPA 直接压电致动器

产地：法国

特点

l   位移范围：40um-80um

l   闭环分辨率：0.4nm-0.8nm

l   响应时间：0.06ms-0.08ms

l   驱动电压更低