三维非接触式表面轮廓仪（3D Profiler）
产地：美国
技术参数
l 垂直测量范围 27mm
l 垂直分辨率 2nm
l X-Y扫描速度 20mm/s
l 横向X-Y轴分辨率 0.1μm
l 扫描范围（XYZ） 150*200*50mm
主要特点
l 兼容一级洁净室要求
l 适合苛刻环境下的表面轮廓测试
l 高平整度和稳定性（花岗石平台）
l 采用NANOVEA PRVision软件实现自动定位测量
l 用于替代探针式轮廓仪和激光轮廓仪
l 采用白光轴向色像差技术，可获得纳米级的垂直分辨率
l 测量具有非破坏性，测量速度快，精确度高
l 测量范围广,可测透明、半透明、低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…)
l 不受环境光的影响
l 不受样品反射率的影响
l 适合测量高坡度（85O）的表面
l 样品无需特殊处理
l Z方向最大测量范围为27mm
