飞秒激光微加工系统
产品描述
飞秒激光微加工系统是HGD公司和立陶宛WOP研究所共同开发的一款针对科研院所和工业界的成熟的微加工设备。飞秒激光微加工设备能解决通常激光加工设备所不能解决的问题，在生物光子学、远古化石修复、打标、切割、焊接、钻孔、雕饰、光刻等方面都具有独特的优势。目前，飞秒微加工已成为一种不可阻挡的趋势正占领整个精加工领域。我们将根据客户需求定制各种各样的具体的飞秒激光微加工设备。
产品特点
激光主振荡器特性
功率>1W (在特殊要求下，功率量程可以达到2W)
脉冲展宽<60fs
重复率76MHz
激光功率放大器特性
波长1030nm
平均功率6W
脉冲重复率可调谐-1至1MHz
计算机可控脉冲展宽<280fs至10ps
最大脉冲能量1mJ (与脉冲重复率有关)
输出稳定性<1%rms
光束质量M2<1.2
配备脉冲计数器
频率转换宽范围选择：谐波发生器，分别为SH/TH/FH
三轴系统
对于加工物件的位置的三轴系统是基于Npad控制器的Aerotech 线性电机系统来实现的，该系统与激光电源一起构成了19英寸的机架，线性电机具有大行程和高位置精度特点，具体技术参数如下
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Axis
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X
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Y
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Z
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总行程
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150mm
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150mm
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4mm
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分辨率
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0.005 um -1um
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0.005 um -1um
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2um (60pm with A3200)
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最大行速
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300mm/s
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300mm/s
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50mm/s
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最大负载
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12kg
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12kg
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4kg
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精度
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±0.3 um
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±0.3 um
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±0.2um
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重复率
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±0.1um
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±0.1um
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±50um
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轴向正交
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5 arcs
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5 arcs
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5 arcs
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电机标称重量
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4.6kg
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4.6kg
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1.4kg
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二轴系统
供快速精确激光束扫描的两轴系统，该系统基于GSI Lumonics电流计扫描仪，具体技术参数如下
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有效孔径
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9.5mm
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最大扫描角度
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±25o
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最大非线性
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0.08%
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工作温度
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0-500C
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带宽
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>2500Hz
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最小步进时间
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<300ms
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整个步进时间
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<1.5ms
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Z轴系统
Z轴光束扫描系统是由Physik Instrumente (PI)公司提供的压电驱动显微镜物镜纳米聚焦/扫描装置。物镜很容易获得，也适宜于其他品牌代替，具体参数如下
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最大物镜直径
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39mm
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闭环行程
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250mm
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闭环分辨率
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0.75nm
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闭环线性度
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0.03%
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全程重复率
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±3nm
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倾斜角（X, Y）
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6mrad, 45mrad
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共振频率
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330Hz±20%@0g
180Hz±20%@120g
140Hz±20%@200g
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硬件支持
SCA软件支持以下公司硬件设备
Aerotech Co. Ltd （例如Nldrive/Npaq控制器的ALS130-150 XY）的线性电机
Aerotech Co. Ltd的转动电机
GSI Group, Inc; ScanLab AG的电流计扫描仪
Physik Instrumente (PI) 公司的压电驱动器
Altechna公司的电机衰减器
