1500AT LCD 超低水平双折射测量仪
亚纳米级测量技术
Exicor 的双折射技术因其卓越的精度和重复精度，已被世界顶级的光学产品生产商们用采用以测量双折射。延迟分辨率仅 0.005 nm, Exicor 尤其适用于超低延迟测量的应用。
EXICOR 1500AT
凭借一直以来与世界顶级光学材料生产商们合作的经验， Hinds 仪器公司推出了1500AT系统来测量例如LCD 这样大面积的光学材料。成长中的LCD 产业要求双折射测量工具拥有最高的敏感度，Exicor 1500AT 配备了我们最通用的 Exicor MT 系统。 Exicor MT系统现在已批量生产，它应用于所有的可见光波长系统和客户定制系统中。在提供了卓越的测量性能同时易于保养及更新维护。
重复精度, ASSURED...
全世界范围内 Hinds 仪器公司的客户对Exicor技术和测量准度充满信心。每一台1500AT系统都带有一个高同质性和极低延迟性能的低延迟水平样品。所有 Exicor 的自动补偿特性能够设置消除噪音痕迹并提供延迟测量重复精度达0.005 nm。一个如此低水平的稳定、可靠的基准样品确保每一次测量都正确无误。
重要特点
l 占地小
l 创新的平台设计
l 强大的自动化
l 服务支持
l 备件中心
l 遍布世界各地
l 满足 S2/S8 和
l CE 标准要求
l DLL 数据界面软件，部件更换简单
世界上最先进的低水平双折射测量技术
创建于1971年的Hinds 仪器公司成长为应用偏振调制技术的领导者。在公司过去的40年历史中，我们一直以开发新系统来满足日益增长的实验室研究工作和工业应用的灵敏测量为使命。在1997年, 我们的科学家和工程师们发展了一种低水平双折射测量能力来改善我们的核心产品的性能。偏振化提升的测量技术经过系统的改良来达到极高的灵敏度，将计量技术的能力提升至远远超过之前所有技术。
自我们引入商用低水平双折射测量系统 Exicor 以来, 超过 90% 的主流氟化钙和融石英制造商已经采用了这项领先的科技。使用 Exicor 行业的名单正在扩大，目前已经包括液晶显示器制造商。
Exicor 已经成为许多国际顶尖研究机构和光学材料制造商们的标准。联合出版物已经被写入行业领导者包括Intel, 肖特玻璃, International Sematech 国际半导体技术等。系统的性能已经通过Review of Scientific Instruments《科学仪器评审》认证是可靠的，《科学仪器评审》是对新前沿科学和工艺测量仪器进行官方认可的重要杂志。
此外， Exicor 双折射测量系统也赢得了无数奖项。在2000年Photonics Circle of Excellence Award世界范围的评选中获得年度最具技术创新光电产品奖。Exicor 还在世界竞赛中获得2001 R&D 100荣誉，被认证为有竞争含量的技术。此项极富威望的荣誉授予了世界上所有科学领域中最好的100项新技术。
Exicor产品线制造于俄勒冈州的Hillsboro，1692 m2 厂房屹立于硅森林（Silicon Forest， 指美国西北的俄勒冈州的波特兰市到华盛顿州的南部高科技地区）中心地带。我们的生产区包括一个10,000级洁净室，我们的员工经 IPC/II 制造标准认证，现场服务和技术培训研讨会在Hillsboro 或海外进行。
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参数
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延迟范围
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0.005nm to 100+ nm
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延迟分辨率/重复精度
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0.001nm / ± 0.008 nm
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角度分辨率/重复精度
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0.01° / ± 0.05°
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测量时间2
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Up to 10 pps
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调制频率
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50 kHz
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波长3
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632.8 nm
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光斑尺寸
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~ 1 mm typical
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解调分析
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锁相放大器
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度量单位
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nm (延迟), ° (角度)
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最大样品尺寸
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1500 mm x 1500 mm
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1 5nm 延迟时的典型性能
2最大数据采集速度. 样品 XY 扫描时间取决于平台移动参数.
3波长可根据客户需要定制
