美国hinds第六代双折射测量系统
亚纳米级测量技术
Exicor 的双折射技术因其卓越的精度和重复精度，已被世界顶级的光学产品生产商们用采用以测量双折射。延迟分辨率仅 0.005 nm, Exicor 尤其适用于超低延迟测量的应用和应力估计。
EXICOR GEN6 LCD
凭借一直以来与世界顶级光学材料生产商们合作的经验， Hinds 仪器公司推出了1500AT系统来测量例如LCD 这样大面积的光学材料（达1500mm x 1500mm）。由于LCD原料面积不断增大，必然需要新的系统有能力测量更大的面积。Exicor GEN6 LCD 基于成功的Exicor 1500AT核心技术设计，能够测量第六代（或更小）LCD 显示元件。
成长中的LCD 产业要求双折射测量工具拥有最高的敏感度，来可靠地生产高精度的LCD显示元件。Exicor GEN6 LCD 配备了我们最通用的 Exicor MT 系统。 Exicor MT系统现在已批量生产，它应用于所有的可见光波长系统和客户定制系统中。在提供了卓越的测量性能同时易于保养及更新维护。
重复精度, ASSURED...
全世界范围内 Hinds 仪器公司的客户对Exicor技术和测量准度充满信心。每一台GEN6 LCD系统都带有一个高同质性和极低延迟性能的低延迟水平样品。所有 Exicor 的自动补偿特性能够设置消除噪音痕迹并提供延迟测量重复精度达0.005 nm。一个如此低水平的稳定、可靠的基准样品确保每一次测量都正确无误。
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概 要
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尺 寸
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尺 寸
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(近似长度)
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A
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2700mm
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B
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3250mm
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C
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<2500mm
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D
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2200mm
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E
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2750mm
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主要特点
l 占地小 – 将设备占地面积减至最少
l 创新的平台设计 - 专利设计测量区域占地最小化
l 强大的自动化 – 高品质的平台和硬件缩短测量时间
l 服务支持 – 技术支持和备件中心遍布世界各地
l 工业认证 - 满足 S2/S8 和 CE 标准要求
l 灵活的软件 – 优化图形用户界面。特制功能和DLL 数据界面软件
l 低维护成本 - 部件更换简单
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测量技术
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延迟范围
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0.005 nm 到 120 nm
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分辨率1
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0.001 nm
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重复精度1
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±0.01 nm (延迟 < 1 nm) or ± 1% (延迟 > 1 nm)
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角度分辨率/角度重复精度1
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0.01° / ± 0.05°
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测量时间2
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10pps (10 点/每秒)
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调制频率
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50 KHz
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波长3
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632.8 nm
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光斑尺寸
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~ 1 mm typical
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检波分析技术
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Hinds Instruments SignalocTM 锁相放大器
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测量单位
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nm(延迟)，° (角度)
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最大样品尺寸
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1600 mm x 2000 mm
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1 5nm 延迟时的典型性能
2 最大数据采集速度. 样品 XY 扫描时间取决于平台运动参数.
3 波长可根据客户需要定制
EXICOR NEXUS 项目
Exicor at the Center! 此项目目标是帮助我们的客户识别和发展出符合自身情况的最优的双折射测量方案。在生产线应用和集成Exicor设备尤其是富有挑战性。
这个项目的动力是我们大多数的客户在项目后期将Exicor 加入到应用中。的技术人员擅于使我们的系统适应客户的需要，但是本可以避免在不是最优于双折射测量的工艺或者设备周围区域进行。双折射测量市场的本质，我们非常熟练于应对这些挑战。这是由于他们害怕请我们定制（通常是担心成本）或者并不了解双折射测量以至于知道提出要求的时候已经太晚了！ Exicor NEXUS 项目将我们已经做的形式化并让Hinds的工程师们尽可能早的与你们配合。这使我们可以推荐最优的方案来提高性能和降低长期运营成本的影响。更多的信息请直接联系我们！
世界上最先进的低水平双折射测量技术
创建于1971年的Hinds 仪器公司成长为应用偏振调制技术的领导者。我们一直以系统和元件的研发和改良来满足高灵敏偏振测量为使命。在1997年, 我们的科学家和工程师们发展了一种低水平双折射测量能力来改善我们的核心产品的性能。偏振化提升的测量技术经过系统的改良来达到极高的灵敏度，将计量技术的能力提升至远远超过之前所有技术。
出于这个使命，我们的科学家和工程师们发展了低水平双折射测量技术来改进我们核心产品的性能。这项新发明成为Exicor双折射测量系统，一种优于所有之前和现有技术的计量宣言。
自我们引入商用低水平双折射测量系统 Exicor 以来, 超过 90% 的主流氟化钙和融石英制造商已经采用了这项领先的科技。使用 Exicor 行业的名单正在扩大，目前已经包括液晶显示器制造商。
Exicor 已经成为许多国际顶尖研究机构和光学材料制造商们的标准。联合出版物已经被写入行业领导者包括Intel, 肖特玻璃, International Sematech 国际半导体技术等。系统的性能已经通过Review of Scientific Instruments《科学仪器评审》认证是可靠的，《科学仪器评审》是对新前沿科学和工艺测量仪器进行官方认可的重要杂志。
此外， Exicor 双折射测量系统也赢得了无数奖项。在2000年Photonics Circle of Excellence Award世界范围的评选中获得年度最具技术创新光电产品奖。Exicor 还在世界竞赛中获得2001 R&D 100荣誉，被认证为有竞争含量的技术。此项极富威望的荣誉授予了世界上所有科学领域中最好的100项新技术。
