快速退火炉
为了满足高校和研究实验室对温度测量控制系统的精确和重复热控制的需求，法国Jipelec公司成功开发了 JetFirst系列产品。该系统可以轻松进行晶圆的装载和取出，也可以进行小样品和Ⅲ-Ⅴ及Ⅱ-Ⅵ化合物加工工艺。如果几种加工工艺需要同时进行，为了避免交叉污染，该系统提供了备用腔。针对光伏应用，还专门设计了一种方形腔概念。
主要特点
达到200mm的台式设计
更新的且可继续更新的系统
晶圆尺寸可以达到300mm
冷腔壁技术
高温计和热耦合控制器
PID温度控制器
大气和高真空处理功能
3条输气管道
加工工艺管理软件
主要应用
RTA快速热退火
RTO快速热氧化
RTN快速热氮化
RTD快速热扩散
快速结晶化
电极合金化
稠化和烧制
技术参数
温度范围：~14000C
温变速率：10C/s到4000C/s
高温计控制：1500C-14000C
JetFirst尺寸(长宽高)：850×750×675mm
JetFirst 300尺寸（长宽高）：1000×900×1500mm
可选项
泵和涡轮泵
两腔设计，其中一个备用腔
光伏腔——方形腔设计
6条输气管道
