产品介绍
● 等离子体密度
● 电子温度
● 离子流密度
● 等离子体电位
● 悬浮电位
● 电子能量分布函数（EEDF） 主要指标
时间分辨率
12.5ns
悬浮电位
-145V到145V
等离子体电位
-100V到145V
等离子体密度
106 到3x1013cm-3
离子流密度
1uA/cm2到300mA/cm2
电子温度
0.1〜15 eV
EEDF
0到100 eV
产品规格
朗缪尔探针适用于：
DC、RF、微波、连续和脉冲等离子体源
RF等离子体
2MHz到100MHz宽带
探针长度
150~400mm（后续确定具体长度）
探头直径
6.5mm（可定制）
探针针尖长度
10mm（可定制）
探头尖端直径
0.4mm（可定制）
探头尖端材料
钨，钽，镍，铂（可定制）
探头
90°、45°弯曲（可定制）
最高工作温度
230℃（自定义到1200℃）
电子控制单元
探头电压扫描范围
-150V到+150 V
电流范围
15nA到
1A
通信USB
步进电机参数表
行 程
300mm ,600mm ,900mm, 1.4m 可定制
最高速率
25mm/sec
真空度
泄漏速率小于1×10-10mbar.1.sec-1
烘烤温度
230oC
