Octiv VI Probe
OctivVIProbeTM 是一款单射频在线VI 探测器，用于监测等离子体腔室射频源的电压、电流、相位、谐波、真实功率、入射功率和反射功率。对于单一射频源，OctivVIProbeTM 是理想的传感器。OctivVIProbeTM 探测器包含一个射频VI 传感器和高速的数据采集卡，利用高速数字傅里叶变换可以高精度的测量基础射频电压、电流和相位。



Octiv Suite
The Octiv Suite™测量和显示复杂的波形，分析RF 的关键参数，如复杂波形中的电压、电流和谐波成分等。The Octiv Suite™可以用于测量离子的通量，等离子体电阻和非线性鞘层阻抗。The Octiv Suite™可以检测包含多个基波的非线性负载中的高次谐波和谐波成分，独特的软件可精确测量多频率相位，谐波和互调分量。The Octiv Suite™是市场上第一个也是唯一能在FM 和AM 环境中准确分析多个基本频率、谐波和互调分量的产品。



Octiv Poly
The OctivPoly™通常放在网络匹配之后，用于测量等离子体腔室射频源的电压、电流、功率、基波的相位和基频的谐波。OctivPoly™是精确监测双频和三频等离子系统的理想选择。The OctivPoly™是一个高精确度、高传输率和高分辨率的传感器，在脉冲等离子体中，其也是唯一功率和阻抗时间分辨率可达微秒的传感器。


Octiv Mono
The OctivMonoTM 通过了NIST（美国国家标准与技术研究院）认证，是一款市场上最先进和高精度的功率传感器，其精度可达1%，适用于半导体等行业。
主要指标
尺寸：350×200×120mm ； 显示触摸屏:LCD ； 显示：功率；重量:1.5 Kg； 连接：模拟I / O，数字I / O，以太网，DeviceNet。


配件