实验室飞秒微加工平台
产品描述
WOP提供的飞秒微加工FemtoLAB系统适合科研实验室从事科学研究和少量微纳产品的加工。该系统由高性能的飞秒激光光源、扫描振镜、光学系统、可视化操作软件SCA组成。整个系统可以放置在一张光学平台上,一套FemtoLAB飞秒微加工系统简直就是一个完整的激光实验室。
可变参量
脉冲展宽:<200fs-10ps;
重复频率:1-1000kHz;
平均功率:达到12W;
波长:1030,515,343,258nm
产品特点
♦ 高速精密微加工
♦ 高级飞秒激光器PHAROS
♦ 亚微米分辨率加工难处理物
♦ 飞秒微加工模式下极小的热影响区
♦ 纳米精度物件定位
♦ 使用扫描振镜激光束精确引导
♦ 激光参数便捷修改
♦ 软件控制所有集成化硬件设备
软件控制
♦ XYZ步进电机
♦ 转动轴
♦ 检流计扫描振镜
♦ 激光参量
♦ 机械视觉
♦ 工作区激光功率
♦ 偏振
操作便利性
♦ 使用显微镜转台谐波转换(多达4)
♦ 使用显微镜转台切换聚焦光学元件
♦ 使用共聚焦系统测定焦斑
♦ 自动CCD成像校准
♦ CCD自动聚焦在样品表面
♦ 自动测定样品倾斜度
♦ 成像和视频采集过程
♦ 制造轨迹和CCD视图叠加
♦ 实时过程跟踪
♦ 键盘操纵
FemtoLAB飞秒激光微加工系统是实施激光超精密微加工的理想平台。系统可以在既有光学平台上装配,整套组装需要的空间不到1 m x 2.5 m。
系统配置包括
♦ 飞秒激光器PHAROS
♦ 带有光束传输的SH,TH,FH发生器
♦ 用于振荡输出的SH发生器
♦ XYZ试样定位系统
♦ 扫描振镜(安置在XYZ上或通过4F光学系统传递)
♦ 为WATT PILOT配置4个衰减器
♦ 4个偏振旋转器
♦ 自聚焦和机器视觉单元
♦ SLM或其它波束成形器