光伏太阳能电池激光微加工
WOP公司研发的SOLLAS激光加工设备曾获得立陶宛2010年国家创新大奖，该设备主要用于c-Si太阳能电池切割，具备飞秒紫外加工和纳秒红外激光加工的双重功能，因而SOLLAS具有强大的微加工处理能力。
设备功能
♦ 选择性刻蚀SiNx/SiO2
♦ 背接触激光烧制
♦ 边缘绝缘处理
♦ 激光打标
♦ 可行性测试后整合其他过程
设备优势
♦ 加工晶片更薄
♦ 更低破损率
♦ 精密控制加工深度
♦ 飞秒激光冷加工
♦ 参数调整便利促进工艺开发
♦ 选择性刻蚀(材料响应不同，配送控制激光能量不同)
产品特征
♦ 产品研发线最佳生产能力2.5MW/a。
♦ 飞秒紫外和纳秒红外激光光源
♦ 机械视觉系统旋转探测和调节激光扫描场
♦ 高性能扫描振镜精确控制空间激光束
♦ 5″ 和 6″薄片加工（如下图所示）
♦ 触摸屏用户界面控制简单生产模式(SCA工程设计)
♦ 研发模式下全功能软件(SCA工程设计)
SOLLAS激光加工设备的强大优势
♦ 全能型太阳能电池激光刻槽机使用飞秒紫外激光光源对SiNx/SiO2选择性刻蚀。这种超精确刻蚀SiNx层的工艺对Si层的影响（直接或热效应）最小，不但延长了载流子寿命而且可以避免微裂纹。
♦ 纳秒红外光纤激光器执行其他三个过程，在提高加工速度方面有巨大优势。
♦ 自动硅片传送和扫描系统支持5″ 和6″直径晶体硅硅片。
♦ 综合机器视觉系统和调整激光束扫描场的能力保证了高重复性和可靠性。
♦ 系统配置一个一级激光安全罩和保证激光无尘工作环境的综合除尘系统。
♦ 使用拥有生产和研发模式的灵活的，友好的软件ALTSE-SCA控制系统。
